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测量潜望镜是光学计量仪器之一种,它的结构简单,操作方便,适用范围及广。
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晶圆基底测量系统,非接触,全自动测量提供出众的吞吐量,使用于测量FOUP和FOSB。
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MM60系列是以X轴250mm,Y轴150mm,Z轴200mm的大范围活动而自豪。
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由于同时综合了测量显微镜和金相显微镜的功能,这些型号可在高倍进行高精度的测量,它们还支持NIKON创新的CF无限远校正光学系统。
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本系列测量显微镜配备NIKON专为Z轴测量而设计的独特调焦装置(FA)调焦装置通过指示工件焦点对准,焦前,或焦后,使低倍观察时调焦简单易行。
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MM系列标准配置:MM-60系列载物台的行程在X轴为250mm,在Y轴为150mm,在Z轴为200mm,而小型的MM-40系列的行程范围是150X100X150mm。
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Brewster角显微镜(BAM)的原理是利用在空气/水界面或介质基底上,以Brewster角入射的线性垂直偏振光会产生零反射。
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